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        產(chǎn)品展示 PRODUCTS

        化學(xué)濕臺

        作者:   |   閱讀次數: 3891次

        設備名稱(chēng)

        化學(xué)濕臺

        用途

        濕法 清洗 腐蝕

        操作方式

        手動(dòng)/半自動(dòng)/自動(dòng)

        適用領(lǐng)域

        半導體材料、集成電路、MEMS、LED芯片、功率器件等

        適用工藝

        酸洗、堿洗、有機清洗、刻蝕、超聲(兆聲清洗)、QDR清洗、顯影、去膠、電鍍、旋干

        清洗方式

        槽式清洗 單片清洗

        可清洗尺寸

        2吋--12吋

        藥液供給

        手動(dòng)/自動(dòng)

        主體材質(zhì)

        PP PVC不銹鋼

        槽體材質(zhì)

        石英、PVDF、PTFE、NPP、 不銹鋼等

        溫控精度

        ±1℃

        安全防護

        自動(dòng)安全門(mén)、漏液報警、漏電保護、液位保護、急停、聲光報警系統

        模塊化設計

        滿(mǎn)足客戶(hù)多種工藝及產(chǎn)能的定制化要求

        可編程菜單,方便用戶(hù)操作,直觀(guān)

        實(shí)時(shí)流程顯示,可控性強

        多級密碼,方便管理,安全可靠

        自動(dòng)保存生產(chǎn)數據

        可實(shí)現遠程控制

        可實(shí)現功能

        藥液管理系統(自動(dòng)供液、自動(dòng)補液、循環(huán)過(guò)濾)、在線(xiàn)加熱、甩干、電導率檢測、恒溫系統、百級FFU、自動(dòng)滅火等

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