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        產(chǎn)品展示 PRODUCTS

        兆聲清洗機

        作者:   |   閱讀次數: 4818次

        設備名稱(chēng)

        單片清洗機

        用途

        晶圓、掩膜版的清洗和甩干

        操作方式

        自動(dòng)

        適用領(lǐng)域

        半導體材料、集成電路、MEMS、LED芯片、功率器件等

        適用工藝

        晶圓的RCA清洗、兆聲清洗和甩干

        清洗方式

        旋流式?jīng)_洗噴嘴,兆聲DIW清洗

        可清洗尺寸

        2吋--12吋晶圓

        真空值

        顯示屏同步顯示,可達≤-90KPa

        兆聲清洗

        兆聲頻率280-950KHz可選,功率可調;

        伺服電機

        采用進(jìn)口專(zhuān)用旋轉電機,運行安靜平穩,0- 3500RPM+轉/秒加速僅需0.5秒

        真空吸盤(pán)

        采用PEEK、PTFE材質(zhì),強度高、耐腐蝕、密封性能好

        載片臺

        采用真空吸附+PIN定位,防止甩片碎片

        主體材質(zhì)

        不銹鋼、PP、PVC

        槽體材質(zhì)

        不銹鋼、PP、PVDF

        安全防護

        自動(dòng)安全門(mén)、漏液報警、聲光報警系統

        模塊化設計

        滿(mǎn)足客戶(hù)多種工藝及產(chǎn)能的定制化要求

        可編程菜單,方便用戶(hù)操作,直觀(guān)

        實(shí)時(shí)流程顯示,可控性強

        多級密碼,方便管理,安全可靠

        自動(dòng)保存生產(chǎn)數據

        可實(shí)現功能

        可裝配裝取片機器人

        可配置滾刷刷洗;

        化學(xué)液及純水自動(dòng)供應,流量可視可調

        可實(shí)現遠程控制

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